פּלאַזמע עטשער פּרינציפּ

ינדוקטיוועלי קאָופּלעד פּלאַזמאַ עטש (ICPE) איז דער רעזולטאַט פון אַ קאָמבינאַציע פון ​​כעמיש און גשמיות פּראַסעסאַז. זיין יקערדיק פּרינציפּ איז אַז, אונטער וואַקוום און נידעריק דרוק, די ראַדיאָ אָפטקייַט דזשענערייטאַד דורך אַ ICP RF מאַכט צושטעלן איז רעזולטאַט צו אַ טאָרוידאַל קאַפּלינג שפּול. א געמישט עטינג גאַז אין אַ זיכער פּראָפּאָרציע איז קאַפּאַלד צו אַ שייַנען אָפּזאָגן, דזשענערייטינג אַ הויך - געדיכטקייַט פּלאַזמע. אונטער דער השפּעה פון די רף אויף די דנאָ ילעקטראָוד, דעם פּלאַזמע באַמבאַרדז די סאַבסטרייט ייבערפלאַך, ברייקינג די כעמישער קייטן פון די סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַל אין די מוסטערד געגנט פון די סאַבסטרייט. די וואַלאַטאַל סאַבסטאַנסיז רעאַגירן מיט די עטשינג גאַז צו פאָרעם וואַלאַטאַל קאַמפּאַונדז, וואָס דעמאָלט באַזונדער פון די סאַבסטרייט ווי גאַסאַז און זענען פּאַמפּט אויס פון די וואַקוום שורה.