לקד רף פּלאַזמאַ עקוויפּמענט

די לקד רף פּלאַזמאַ עקוויפּמענט איז אַ הויך פאָרשטעלונג סיסטעם דעוועלאָפּעד פֿאַר די ייבערפלאַך באַהאַנדלונג פון לקד, אָלעד און אנדערע פלאַך טאַפליע אַרויסווייַזן מאַטעריאַלס. עס איז דיזיינד צו טרעפן די שטרענג פאדערונגען פון מאָדערן מאַנופאַקטורינג, ווו סטאַביל פּראַסעסינג און הויך טרופּוט זענען גלייַך וויכטיק. די קוילעלדיק סיסטעם מיטלען 880 מם × 790 מם × 1710 מם, מיט אַ וואַקוום קאַמער גרייס פון 450 מם × 450 מם × 450 מם. יעדער ילעקטראָוד טעלער איז 410 מם × 430 מם, און אַרויף צו פינף לייַערס פון סאַבסטרייץ קענען זיין פּראַסעסט סיימאַלטייניאַסלי אין אַ איין ציקל.

 

פֿון אַ פאַנגקשאַנאַל פּערספּעקטיוו, די ויסריכט גיט אַ באַניצער - פרייַנדלעך HMI וואָס אַלאַוז דירעקט אַדזשאַסטמאַנט פון שליסל פּראָצעס פּאַראַמעטערס אַזאַ ווי רף רעזולטאַט מאַכט, וואַקוום פּאַמפּינג געדויער, יחיד באַהאַנדלונג סעגמאַנץ און גאַז לויפן רייץ. די סעטטינגס קענען זיין מאַדאַפייד געשווינד צו אַדאַפּט צו פאַרשידענע מאַטעריאַלס אָדער פּראָצעס רעקווירעמענץ, וואָס פאָרשלאָגן בייגיקייַט און קאָנסיסטענסי פֿאַר ינדאַסטרי אַפּעריישאַנז.

די גאַז עקספּרעס סיסטעם שטיצט דריי פרייַ טשאַנאַלז און קענען שעפּן ניטראָגען (N₂), אַרגאָן (Ar), הידראָגען (H₂), און זויערשטאָף (O₂). לויפן מעטער זענען קאַלאַברייטיד אין אַ קייט פון 0-200 מל / מין, מיט קאָנטראָל אַקיעראַסי בעכעסקעם פלאַקטשויישאַנז אונטער 5%. אַלע הויפּט פּנעוומאַטיש קאַמפּאָונאַנץ זענען סאַפּלייד דורך SMC, און די קאַמער סילינג רילייז אויף דוראַבאַל פלואָראָ - גומע גאַסקאַץ, ינשורינג לאַנג - טערמין פעסטקייַט אין פאדערן ינווייראַנמאַנץ. פּלאַזמע איז דזשענערייטאַד דורך אַ זיך- אַדאַפּטיוו רף מאַכט צושטעלן אַפּערייטינג ביי 13.56 מהז, מיט אַ מאַקסימום רעזולטאַט פון 1 קוו, געראַנטיד פאַרלאָזלעך ענערגיע עקספּרעס פֿאַר מונדיר באַהאַנדלונג.

סטראַקטשעראַלי, די קאַמער איז מאַניאַפאַקטשערד פון הויך -ריינקייַט 304 ומבאַפלעקט שטאָל צו מינאַמייז אַקסאַדיישאַן און קעראָוזשאַן. די סיסטעם ניצט אַ צווייענדיק פּלאָמבע פּלאַן פֿאַר וואַקוום אָרנטלעכקייַט, בשעת קופּער ילעקטראָוד האָלדערס אין די הינטן פון די קאַמער זיכער האָריזאָנטאַל ילעקטראָוד פּלאַטעס דורך קייפל שרויף לאַקס, ימפּרוווינג פעסטקייַט און ענערגיע אַריבערפירן. נאָך זייַט שטיצט ווייַטער פאַרשטאַרקן די ילעקטראָודז. וואַקוום וואָג איז אָפּטימיזעד: אַ גיך מעלדונג וואַלוו אַלאַוז דרוק יקוואַליזיישאַן ין 5-10 סעקונדעס, רידוסינג ליידיק צייט און בוסטינג פּראָודאַקטיוויטי.

צו ענשור אַפּעריישאַנאַל זיכערקייַט, די מאַשין איז יקוויפּט מיט אַ שולד שרעק סיסטעם. עס לאָגס די דאַטע, צייט און גרונט פון קיין אַבנאָרמאַל געשעעניש, בשעת אָטאַמאַטיק שאַטדאַון איז טריגערד צו באַשיצן ביידע די קאַמער און די וואָרקפּיעסעס.

אין טערמינען פון אַפּלאַקיישאַן, די ויסריכט איז וויידלי אנגענומען פֿאַר פליפּ- שפּאָן אַנדערפיל פּראַסעסאַז. פּלאַזמע רייניקונג איידער די אַנדערפילל ימפּרוווז די אַקטאַוויישאַן פון די ייבערפלאַך, ימפּרוווז וועטטאַביליטי און ינקריסיז אַדכיזשאַן צווישן די סאַבסטרייט און די ענקאַפּסאַלאַנט. ווי אַ רעזולטאַט, עס ימפּרוווז ניט בלויז פּאַקקאַגינג קוואַליטעט אָבער אויך ימפּרוווז די לאַנג-טערמין רילייאַבילאַטי פון אַוואַנסירטע אַרויסווייַזן און סעמיקאַנדאַקטער אַסעמבליז.

הייס טאַגס: לקד רף פּלאַזמע עקוויפּמענט, טשיינאַ לקד רף פּלאַזמע עקוויפּמענט מאַניאַפאַקטשערערז, פאַבריק