געפירט רף פּלאַזמאַ עקוויפּמענט

די לקד רף פּלאַזמאַ עקוויפּמענט איז דיזיינד ספּאַסיפיקלי פֿאַר די ייבערפלאַך באַהאַנדלונג פון פליסיק קריסטאַל אַרויסווייַזן קאַמפּאָונאַנץ און פֿאַרבונדענע עלעקטראָניש מאַטעריאַלס. די קוילעלדיק מאַשין דימענשאַנז זענען 900 וו × 1750 ה × 1200 ד (מם). זיין וואַקוום קאַמער, געבויט פון דוראַבאַל ומבאַפלעקט שטאָל, מיטלען 450 × 300 × 450 מם און אַקאַמאַדייץ אַרויף צו זעקס סטאַקט טאַץ אין אַ איין פּעקל. די קאַנפיגיעריישאַן אַלאַוז די סיסטעם צו שטיצן ביידע פּילאָט- וואָג יקספּעראַמאַנץ און הויך{{10} באַנד ינדאַסטריאַל פּראָדוקציע.

 

פֿאַר די פאַנגקשאַנאַל פּערספּעקטיוו, די עקוויפּמענט ינטאַגרייץ הויך-קוואַליטעט עלעקטריקאַל קאַמפּאָונאַנץ מקורים פון ינטערנאַשאַנאַלי דערקענט בראַנדז, ינשורינג לאַנג-טערמין אַפּעריישאַנאַל פעסטקייַט. די סיסטעם גיט ביידע מאַנואַל און גאָר אָטאַמייטיד מאָדעס, אַלאַוינג בייגיקייַט אין אָפּעראַציע. א דריי-שנעל אויטאָריטעט פאַרוואַלטונג סטרוקטור- קאַווערינג אָפּעראַטאָר, ינזשעניר, און אַוואַנסירטע באַניצער אַקסעס - ינשורז זיכער פּראָדוקציע און פּריווענץ אַנאָטערייזד אַדזשאַסטמאַנץ. פֿאַר פּראָדוקציע טרייסאַביליטי, די מאַשין פֿעיִקייטן אַן ינאַגרייטיד ריפּאָרטינג סיסטעם, אויטאָמאַטיש רעקאָרדינג און באַקינג אַרויף פּראָצעס דאַטן אויף אַ כוידעשלעך יקער. יוזערז קענען קראָם און צוריקרופן אַ אַנלימאַטאַד נומער פון פּראָצעס רעסאַפּיז, פּראַוויידינג באַקוועם אַדאַפּטאַבילאַטי פֿאַר פאַרשידענע פּראָדוקטן און אַפּלאַקיישאַנז.

די האַרץ סיסטעם קאַנפיגיעריישאַן אַדאַפּץ ומבאַפלעקט שטאָל פּייפּליינז און בעלאָוז, צוזאַמען מיט קאַסטאַמייזד GDQ וואַקוום וואַלווז פֿאַר עפעקטיוו ויסמאַטערן קאָנטראָל. וואַקוום מעזשערמאַנט איז דורכגעקאָכט דורך אַ פּיראַני קעגנשטעל וואַקוום מאָס, וואָס ינשורז פּינטלעך און סטאַביל רידינגז. א הויך - וואַקוום טויער וואַלוו איז אַרייַנגערעכנט פֿאַר קאַמער אפגעזונדערטקייט. די קאָנטראָל סיסטעם רילייז אויף מיצובישי פּלק מיט יקספּאַנשאַן מאַדזשולז, דיליווערינג גענוי און פאַרלאָזלעך פּראָצעס פּאַראַמעטער פאַרוואַלטונג.

אין טערמינען פון טעכניש ספּעסאַפאַקיישאַנז, די ויסריכט אָפפערס דריי גאַז טשאַנאַלז, וואָס שטיצן ניטראָגען (N₂), אַרגאָן (Ar), הידראָגען (H₂), און זויערשטאָף (O₂). די וואַקוום מדרגה איז קאַנטראָולד צווישן 10-50 פּאַ, מיט דרוק פלאַקטשויישאַן מיינטיינד ין 5%. גאַז לויפן ראַטעס קענען זיין אַדזשאַסטיד אין די קייט פון 0-200 סקקם. קאָאָלינג ניטראָגען, קאַמפּרעסט לופט און פּראָצעס גאַז ינטערפייסיז אַרבעטן בעשאָלעם ביי 0.45 מפּאַ אָדער ווייטער. די פּלאַזמע באַהאַנדלונג מאָדע איז דירעקט פּלאַזמע, מיט אָלטערנייטינג אַנאָוד און קאַטאָוד ילעקטראָודז. צווישן צוויי און פיר ילעקטראָוד גרופּעס קענען זיין אינסטאַלירן סיימאַלטייניאַסלי. יעדער ילעקטראָוד האט אַ עפעקטיוו ייבערפלאַך שטח פון 380 × 310 מם, און די ספּייסינג צווישן ילעקטראָודז איז אַדזשאַסטאַבאַל, מיט אַ נאָרמאַל קייט פון 2.5 סענטימעטער.

אין ינדאַסטריאַל אַפּלאַקיישאַנז, דעם עקוויפּמענט איז דער הויפּט ווערטפול פֿאַר ייבערפלאַך רייניקונג איידער ענקאַפּסולאַטיאָן (מאָלדינג) פּראַסעסאַז. פּלאַזמע באַהאַנדלונג רימוווז אָרגאַניק קאַנטאַמאַנאַנץ און אַקטאַווייץ די סאַבסטרייט ייבערפלאַך, יפעקטיוולי ינקריסינג קאָנטאַקט געגנט און אַדכיזשאַן שטאַרקייַט. דעם פּריווענץ דעלאַמינאַטיאָן אָדער צעשיידונג בעשאַס מאָלדינג און קאַנטריביוץ צו העכער פּראָדוקט רילייאַבילאַטי. מיט זיין געזונט פּלאַן, אַוואַנסירטע קאָנטראָל פאַנגקשאַנז און גענוי פּראָצעס פאָרשטעלונג, די סיסטעם דיליווערז קאָנסיסטענט, ריפּיטאַבאַל פּלאַזמע באַהאַנדלונג רעזולטאַטן, וואָס מאכט עס אַן אידעאל לייזונג פֿאַר לקד טאַפליע מאַנופאַקטורינג ווי געזונט ווי סעמיקאַנדאַקטער פּאַקקאַגינג אַפּלאַקיישאַנז.

הייס טאַגס: מאַניאַפאַקטשערערז פון געפֿירט רף פּלאַזמע עקוויפּמענט, טשיינאַ געפֿירט רף פּלאַזמע עקוויפּמענט, פאַבריק